PECVD管式爐可使用1200度以下，以硅碳棒或電阻絲為加熱元件，主要特點(diǎn)是分為上下兩個(gè)半圓，在高溫狀態(tài)下需要急速冷卻或換管子時(shí)，可以打開(kāi)爐膛，觀(guān)察物料在高溫狀態(tài)下燒結(jié)狀態(tài)；雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，能快速升降溫，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。此款開(kāi)啟式管式爐也可以有單管、雙管、臥式、可開(kāi)啟式、立式、單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等多種管式爐型。